时间:09-18人气:16作者:喵骚年
单晶制备需要精确控制温度和冷却速率。熔融材料在特定温度梯度下缓慢冷却,原子有序排列形成晶体结构。直拉法将籽晶浸入熔体中,旋转并缓慢提拉,晶体沿籽晶方向生长。区熔法利用移动加热区使材料局部熔化,熔区移动方向与晶体生长方向一致。这些方法要求环境纯净,避免杂质干扰晶体形成。温度波动需控制在极小范围内,任何扰动都会导致多晶形成。
单晶质量取决于原料纯度和工艺参数。电子级硅纯度需达到99.9999999%,金属杂质含量需低于十亿分之一分之几。生长速度直接影响晶体完整性,过快生长会产生位错和缺陷。现代设备采用计算机精确控制温度曲线和提拉速度,确保晶体直径均匀。晶体冷却过程同样关键,不当冷却会导致内应力开裂,影响最终器件性能。
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