磁控溅射膜有几种材质

磁控溅射膜主要分金属膜、介质膜和化合物膜三大类。金属膜包括铝、铜、银、金等，常见于电子屏蔽和装饰领域。介质膜有二氧化硅、氧化铝、氮化硅等，多用于光学涂层和防腐蚀层。化合物膜如氮化钛、碳化钨、氧化锌等，结合了金属与非金属特性，应用在工具涂层和太阳能电池上。这些材料通过控制溅射参数，可精确调控膜层厚度和性能，满足不同工业需求。

磁控溅射膜还可按结构分类，有单层膜、多层膜和纳米复合膜。单层膜如纯钛膜，基础功能单一。多层膜如TiN/AIN交替结构，硬度提升3-5倍。纳米复合膜如Si-N-C，兼具韧性与耐磨性。特殊功能膜还包括导电膜、透明导电膜、磁性膜等，ITO膜就是典型代表，广泛用于触摸屏。这些膜层通过调整工艺参数，可实现从几纳米到几微米的精确厚度控制。