一台光刻机一天产量是多少

一台高端光刻机每天能处理25到30片晶圆，具体产量取决于机器型号和工艺节点。7纳米制程的光刻机每小时可产出约3片晶圆，工作8小时后就能完成24片的生产任务。光刻机的工作效率受多种因素影响，包括晶圆尺寸、曝光精度要求以及设备维护状态。先进的光刻系统配备自动化上下料功能，减少了人工干预时间，提高了整体生产效率。

光刻机的日产量还受到客户订单批量的影响。大规模生产时，光刻机可以连续工作24小时，日产量可达60片以上。晶圆厂通常会安排多台光刻机并行工作，以满足市场需求。不同制程的光刻机产能差异明显，14纳米节点的设备日产量可能达到35片，而5纳米节点的设备由于工艺复杂度增加，日产量会降至20片左右。