生产光刻机的上市公司是哪家

中国生产光刻机的上市公司主要有上海微电子装备有限公司，该公司是中国光刻机领域的领军企业。上海微电子研发的光刻机广泛应用于集成电路、 MEMS、 LED 等多个领域，其产品线覆盖从 g 线到 i 线的光刻机，技术实力雄厚。该公司承担了多项国家重大科技专项，打破了国外技术垄断，填补了国内空白，为我国半导体产业发展做出了重要贡献。

光刻机产业链中，还有北方华创、中微公司等上市公司提供关键零部件和设备。北方华创刻蚀机市场占有率位居国内前列，中微公司在 5 纳米及以下制程刻蚀领域取得突破。这些企业通过技术创新，不断提升国产光刻机配套能力，形成了完整的半导体装备产业生态，助力我国半导体产业实现自主可控。