时间:09-15人气:13作者:气质女王范
现代光刻机一天能刻出约3000到5000块晶圆,每块晶圆可切割出数百到上千个芯片,具体数量取决于芯片大小。以300毫米晶圆为例,生产7纳米芯片时,每块晶圆可产出约300个芯片,这样一天就能生产90万到150万个芯片。实际产能受设备类型、工艺复杂度和良率影响,高端EUV光刻机效率比DUV光刻机高2到3倍。
光刻机的工作时间决定实际产量,24小时不间断运行可最大化产出。一台光刻机每台每小时处理25片晶圆,一天就是600片。先进制程如5纳米芯片需要更多曝光步骤,单芯片制造时间延长至4秒,这样一天只能生产20万片芯片。工厂通常会配置多台光刻机并行工作,一条先进生产线每天可生产数百万芯片以满足市场需求。
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