真空阀门是什么意思

真空阀门是专门用于真空系统中控制气体流动的装置。这类阀门能在高真空环境下可靠工作，常见于半导体制造、科研实验和工业真空系统。真空阀门有多种类型，包括隔膜阀、角阀、闸阀和球阀等，每种都有特定应用场景。高质量真空阀门需要具备极低漏率、高真空兼容性和耐腐蚀特性，以确保系统稳定运行。

真空阀门的核心功能是隔离或调节真空系统中的气流。这些阀门通常由不锈钢、哈氏合金等特殊材料制成，能承受极端温度和压力变化。工业应用中，真空阀门用于真空镀膜设备、质谱仪和粒子加速器等精密仪器。现代真空阀门还配备电动、气动或手动驱动方式，满足不同操作需求，确保真空系统精确控制。