一台euv光刻机一天能生产多少芯片

一台EUV光刻机每天能生产约150-200片晶圆，具体产量取决于芯片设计和工艺复杂度。高端7纳米以下制程芯片需要更长时间曝光，产量会降至100片左右。中端芯片生产速度较快，能达到200片。实际生产中，光刻机每天工作24小时，但需要定期维护保养，每周会安排4-6小时停机时间。晶圆尺寸越大，单次曝光能生产的芯片数量越多，300毫米晶圆比200毫米晶圆多生产2.5倍芯片。

EUV光刻机每小时能处理8-12片晶圆，相当于每5-7分钟完成一次曝光。晶圆厂通常配备多台光刻机组成生产线，一条先进制程生产线每天能生产数千颗芯片。光刻机精度越高，生产速度越慢，5纳米制程芯片的生产时间是10纳米制程的1.8倍。实际产能还受光刻胶涂覆、烘烤、显影等前后工序影响，这些环节每小时能处理20-30片晶圆。