真空镀膜机扩散泵温度多少

真空镀膜机扩散泵工作温度一般在200到250摄氏度之间。具体温度取决于泵油类型和系统需求。矿物油基扩散泵通常需要200-220摄氏度，而硅油基扩散泵则需要230-250摄氏度。温度过低会导致泵油蒸发不足，真空度上不去；温度过高则会加速泵油老化，缩短使用寿命。实际操作中，扩散泵加热器功率控制在1500-3000瓦，通过温控系统精确维持设定温度。

扩散泵温度控制精度至关重要，波动范围应控制在±5摄氏度内。温度传感器监测泵体温度，反馈给控制系统自动调节加热功率。镀膜工艺不同，扩散泵温度需求也有差异。电子束蒸发镀膜要求扩散泵温度稳定在240摄氏度，而磁控溅射镀膜可能只需要210摄氏度。环境温度变化也会影响扩散泵工作效果，车间温度最好保持在20-25摄氏度范围内。