丝杠加光栅尺后的精度能达到多少

丝杠加光栅尺组合能实现微米级精度，高端系统可达0.001mm。CNC机床采用这种配置后，重复定位精度稳定在0.005mm以内。半导体制造设备使用0.001mm精度光栅尺配合研磨丝杠，可实现晶圆加工误差控制在2微米内。激光切割设备安装0.005mm分辨率光栅尺后，切割直线度误差减少到0.01mm。工业机器人关节采用这种方案后，轨迹跟踪精度提升至0.02mm。

丝杠加光栅尺系统在测量设备中表现突出。三坐标测量机配备0.001mm光栅尺后，测量不确定度控制在0.003mm。光学检测平台使用0.005mm精度组合后，工件检测误差减少到0.008mm。精密雕刻机采用0.002mm分辨率系统后，加工轮廓度达到0.01mm。医疗设备制造中，手术导引系统使用这种配置后，定位精度稳定在0.005mm。