中国有光刻机生产厂家吗

中国确实拥有光刻机生产厂家，其中上海微电子装备有限公司是国内最具代表性的企业。这家公司成立于2002年，已研发出90纳米光刻机，并正在推进28纳米技术。华卓精科、北方华创等企业也参与光刻产业链，提供关键部件。合肥芯碁微电子装备专注于直写光刻设备，应用于PCB制造。这些企业在国家政策支持下，逐步突破技术壁垒，虽然与国际顶级企业如ASML仍有差距，但已取得显著进步。

中国光刻机产业形成了完整的研发和生产体系。国家集成电路产业投资基金二期投入超过2000亿元支持相关企业。北京科益虹源研发的193纳米光源已用于高端光刻机。中微公司开发的刻蚀设备与光刻机配套使用。上海微电子的28纳米光刻机预计2024年交付，标志着中国光刻技术迈上新台阶。这些成就展示了中国在半导体装备领域的自主研发能力不断提升。